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真空・常圧雰囲気焼結炉(FVSシリーズ)

抵抗加熱式 FVS-R

◆タンク形状には、通常の横丸型、角型のほかに、
 当社独特の「前割り型」(縦置き・前 扉方式)を採用し、
 試料の装填、取出しが容易でメンテナンス性にも優れています。

◆最高2500℃までの高温に対応

◆6.65×10-4Paまでの高真空の製作実績があります。

◆製品品質にとって重要な炉内温度の均一性を高めるための手法や
 温度勾配を実現する手法として、ゾーン加熱、熱損失防止などに
 多数の実績があります。 ±2℃の均熱の製作実績あり
 (但し、他の加熱条件、試料の種類など諸条件に依ります)。

◆ヒーター、断熱材は均熱性に優れたグラファイト製を基本にしています。
 焼結条件に応じてモリブデンなどの金属ヒータも使用しています。

◆冷却方式:熱交換機とファンを組み合わせて
 焼結後の試料冷却速度を高めます。

◆脱脂:バインダを昇華させ回収します。

◆連続式の設計・製作も多数実績がありますので、ご相談下さい。

<導入例>
石英の成形炉、シリコンの反応焼結炉、熱電素子の焼成炉、
SiCなどファインセラミックス研究炉、MIM炉、
CVD装置、脱脂炉

<仕様例>FVS-R(抵抗加熱式)
  FVS-R-350/500
FRET-80
FVS-R-1000/1000/1200
FRET-1350
FVS-R-1500/4400
FRET-350 ×3
炉内有効寸法 φ350×500H φ900×1100×600H φ1500×4400H
温度 MAX 2300℃
NOR 2200℃
MAX 2300℃
NOR 2200℃
MAX 2500℃
NOR 2200℃
均熱 ±10℃ ±10℃ ±15℃
到達真空度 1×10-3 Pa 1×10-1 Pa 6.65×10-1 Pa
加熱出力 80kW 225kW 1050kW
       
タンク形状 縦丸型 角型 前割型



FVS-R(横丸型)        FVS-R(角型)


FVS-R
FVS-R 前割型
FVS-R 前割型(扉開

FVS-I(誘導加熱式)

◆最高3200℃までの高温に対応できます。

◆タンク形状は丸型でφ800×1000H(mm)の炉内有効寸法の実績があります。

<導入例>
黒鉛化炉、CVD炉 など

<仕様例>FVS-I(誘導加熱式)
  FVS-I-800/1600
FTH-450-0.5H
FVS-I-460/300
FTH-200-1VH
有効加熱寸法 φ800×1600H φ460×300H
温度 MAX 1750℃
MAX 3200℃
均熱 ±15℃ ±40℃
到達真空度 13.3Pa 6.65×10-2 Pa
加熱出力 450kW 200kW
     
タンク形状 縦丸型 縦丸型

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